滑動(dòng)管式退火爐

滑動(dòng)快冷管式爐，也叫做滑道管式爐、滑軌式管式爐、可移動(dòng)式實(shí)驗(yàn)室管式加熱爐、管式退火爐、爐膛可移動(dòng)式管式爐

滑動(dòng)快冷管式爐的組成結(jié)構(gòu)

可選配置：該爐可配通訊接口和軟件，可以直接通過(guò)電腦控制爐子的各個(gè)參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況，爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會(huì)實(shí)時(shí)繪出，并能把每個(gè)時(shí)刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來(lái)，隨時(shí)可以調(diào)出。

(1).雙層鋼結(jié)構(gòu)，帶冷卻風(fēng)扇。

(2).爐底裝有一對(duì)滑軌，可以手動(dòng)左右移動(dòng)爐子。

(3).安裝真空法蘭和機(jī)械壓力表，可立即使用。

滑動(dòng)快冷管式爐主要由以下幾個(gè)部分組成：

爐管：

爐管配置石英玻璃管，具有高強(qiáng)度、耐高溫、耐腐蝕等特點(diǎn)，能夠承受高溫和高壓。

滑道管式爐（石英管）

滑動(dòng)快熱、快冷系統(tǒng)：

為取得最快加熱，可以預(yù)先加熱爐子到設(shè)定的溫度，然后移動(dòng)爐子到樣品位置。為獲得最快冷卻，可在樣品加熱后移動(dòng)爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環(huán)境下可以達(dá)到20°C/s，是低成本快速熱處理的爐子。

抽真空系統(tǒng)：

包括真空泵和真空測(cè)量系統(tǒng)，用于抽真空和保持高真空度。

控制系統(tǒng)：

可選擇單設(shè)定點(diǎn)或50段可編程控制器。精度為 ±1°C. 計(jì)算機(jī)通過(guò)RS485口和控制軟件實(shí)時(shí)控制爐子和顯示溫度曲線 。節(jié)能型的陶瓷纖維材料和雙層結(jié)構(gòu)，可將外表溫度降到常溫。均溫區(qū)長(zhǎng)，操作簡(jiǎn)便，密封可靠，綜合性能指標(biāo)較高；

滑動(dòng)快冷管式爐的應(yīng)用領(lǐng)域

退火爐是一款精巧型快速熱處理管式爐， 是CVD法生長(zhǎng)大尺寸二維石墨烯的常用設(shè)備，它是專為半導(dǎo)體或太陽(yáng)能電池基片的退火而設(shè)計(jì)，采用紅外燈管加熱，最快升溫速度為 50°C/秒.。

可在真空不同氣氛空氣不同環(huán)境下，對(duì)樣品進(jìn)行快速熱處理，主要應(yīng)用于院校實(shí)驗(yàn)室、工礦企業(yè)實(shí)驗(yàn)室，如：薄膜沉積，不同材料快速退火、硅化、擴(kuò)散、晶化和致密化等。