產品介紹
金剛石退火真空爐是一種用于在真空或惰性氣體環境下對金剛石材料進行高溫退火、燒結處理的專用設備。這種設備在材料科學、半導體制造、超硬材料加工等領域有重要應用。
可通入氬氣、氮氣等惰性氣體，用于特定工藝需求。
溫度范圍：
低溫退火：600~1200°C(用于表面改性)。
高溫退火：1400~1700°C(用于深層次缺陷修復)。
時間控制：數分鐘至數小時，依材料厚度和工藝目標調整。
金剛石退火真空爐應用領域
半導體行業：
CVD金剛石膜退火，提升其作為半導體襯底的質量(如用于高功率器件、散熱基板)。
珠寶加工：
天然/人造金剛石的顏色優化(高溫處理可改變氮-空位缺陷，影響顏色)。
量子技術：
金剛石中氮-空位色心(NV色心)的調控，用于量子傳感與計算。
刀具與超硬材料：
以金剛石刀具(多晶金剛石刀具(PCD))的退火處理(退火溫度600-700℃)，提高耐磨性和熱穩定性。
設備應用
針對材料的高溫燒結工藝保證耐熱及絕緣性可靠性設計，新型電極結構避免了高溫爐電極漏水現象，并且加熱系統中的易損部件更便于維修和更換。
耐熱性高
安全性好
維修高效
金剛石退火真空爐主要用于
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硬質合金
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陶瓷（氧化鋯陶瓷、氧化鋁陶瓷等）
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磁性材料
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粉末材料
技術參數
| 型號 | 加熱區 | 可使用溫度 | 功率 | 電源 |
|---|---|---|---|---|
| BR-QHM-223 | 200*200*300 | 500-1600℃ | 42kW | 380V |
| BR-QHM-334 | 300*300*400 | 500-1600℃ | 72kW | 380V |
| BR-QHM-446 | 400*400*600 | 500-1600℃ | 120kW | 380V |
| BR-QHM-557 | 500*500*700 | 500-1600℃ | 160kW | 380V |
| BR-QHM-669 | 600*600*900 | 500-1600℃ | 225kW | 380V |
